微电子工艺实验室

简介

微电子工艺实验室面向光电学院学生微电子和集成方向的学生提供的微电子材料及器件制备工艺相关的综合性实验，是电子类专业基础教学的重要实践平台。该实验室位于光电新大楼A318, 319区域，主要实验设备包括：扩散炉、磁控溅射镀膜机、光刻机、真空蒸发设备，离子刻蚀机、紫外光刻机等。

微电子工艺实验室是微电子和集成方向相关专业学生综合实践技能培养平台的重要组成部分，通过课程设计、毕业设计等综合实践训练，加强学生对微电子材料及器件制备方法的学习和掌握，熟悉相关实验仪器功能，实验装置的工作原理及使用方法。提高学生专业综合实践技能，锻炼学生理论与实践相结合以及发现、分析、解决问题的综合能力。目前承担的主要课程有微电子和集成方向相关专业的《微电子工艺课程设计》，研究生科研训练、毕业设计等。

主要课程及实验项目