简介
微电子工艺虚拟仿真实验室是面向微电子、集成电路、电子等专业学生开展的虚拟仿真等实验的实验平台。该实验室有先进的虚拟现实的展示设备,主要有3D裸眼视屏,3D投影仪,3D投影屏,VIVO PRO头盔,HoloLens等VR MR /AR高端设备。实验室采用先进的技术手段和方式展现微电子工艺制程过程,使学生能体验各种先进的微电子制造的主要工艺过程和流程,能直观的观看微电子制造过程。该实验室将集成电路制造的基本过程实现学生交互式互动,要学生能动手操作微电子制造的主流设备。为学校、企业培养现代化工艺、设计和制造的人才。 该实验室承担本科生的《认知实验》,生产实习,《微电子工艺》等课程。