电学实验应用设备---扩散炉

作者：发布：2021-01-15 点击量：

仪器名称：扩散炉

仪器类别：科研及本科实验教学

应用项目：使用在《微电子工艺课程设计》项目中

仪器说明：L4514-1200/QXG扩散炉是半导体生产线前工序的重要工艺设备之一，用于大规模集成电路、分立器件、电力电子、光电器件和光导纤维等行业的扩散、氧化、退火、合金及烧结等工艺。适用于微电子工艺课程设计中热氧化，热扩散工艺环节。

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