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作者： 发布：2021-01-15 点击量：
仪器名称：磁控溅射镀膜机
仪器类别：科研及本科实验教学
应用项目：使用在《微电子工艺课程设计》项目中
仪器说明：M79100-2/UM磁控溅射镀膜机可用于在高真空背景下，采用磁控溅射方式制备各种金属膜、介质膜、半导体膜，而且又可以较好地溅射铁磁材料（Fe、Co、Ni），制备磁性薄膜，既可以制备单层膜，又可以制备各种多层膜。具有体积小、操作灵活等优点。适用于微电子工艺课程设计中薄膜（合金化）工艺环节。
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